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最新回應:傳臺積電南科18廠5nm全廠停產?

2021/8/2 11:44:37 點擊:
國際電子商情訊 有報道稱,29日晚間,臺積電南科晶圓18廠5nm全廠停產,原因是該廠在產線不慎使用了部分疑似受污染的氣體。
報道指出,當涉事工廠發現問題之時,氣體污染影響的范圍較大,因此臺積電除了暫時將18廠5nm全廠停產,還立即通知已回家的員工返回工廠控制事態,并將一些供應商擋在廠區之外。
國際電子商情了解到,氣體污染對芯片制造會帶來一定影響。聯華林德中國區總裁唐瑞平在2019年時曾向《國際電子商情》姊妹刊《電子工程專輯》介紹,幾乎所有制造過程中都需要使用大量氮氣,用以凈化和抑制化學敏感工序。因為“工業氣體是半導體發展必不可少的血液。”據悉,聯華林德是全球第三大氣體公司——林德(Linde)和臺灣地區工業氣體制造商在80年代末、90年代初于大陸地區合資成立的子公司。
唐瑞平指出“對電子行業而言,設備投資很貴,工藝要求很復雜,良率是競爭力的保證。要怎樣得到好的良率,除了工藝保證之外,工業氣體的純度、穩定性、可靠性都是先決條件。業內最近兩年發生過一些良率事故,都是因為氣體純度出了問題。”
臺積電回應:傳言嚴重夸大,事件影響甚微
對此,臺積電今(30)日回應說“傳言過于夸大”,并強調,經內部確認是有部分來自廠商供應的氣體疑似受污染,已即時調度其他氣體供應,為確保生產品質無虞,正進行嚴密后續作業,此事件對營運并未造成顯著影響,后續將持續追蹤。
臺積電總裁魏哲家也在近期法說會上表示,5nm制程良率良好,在智能手機與高效運算相關應用驅動下,需求持續強勁,估今年5nm制程將占整體晶圓銷售的20%。
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